order_bg

ຂ່າວ

ລາຍ​ການ​ຄວບ​ຄຸມ​ລາຍ​ລະ​ອຽດ​: ລະ​ບຽບ​ການ chip ໃຫມ່​ຂອງ​ໂຮນ​ລັງ​ມີ​ຜົນ​ກະ​ທົບ​ທີ່​ຮູບ​ແບບ DUV​?

微信图片_20230702200208

ຂ່າວ Tibco, ວັນທີ 30 ມິຖຸນາ, ລັດຖະບານໂຮນລັງໄດ້ອອກກົດລະບຽບຫຼ້າສຸດກ່ຽວກັບການຄວບຄຸມການສົ່ງອອກຂອງອຸປະກອນ semiconductor, ບາງສື່ມວນຊົນຕີຄວາມຫມາຍນີ້ວ່າການຄວບຄຸມຂອງ photolithography ກັບຈີນໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນອີກເທື່ອຫນຶ່ງກັບ DUV ທັງຫມົດ.ໃນຄວາມເປັນຈິງ, ກົດລະບຽບການຄວບຄຸມການສົ່ງອອກໃຫມ່ເຫຼົ່ານີ້ເປົ້າຫມາຍເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດຊິບທີ່ກ້າວຫນ້າ 45nm ແລະຕ່ໍາກວ່າ, ລວມທັງອຸປະກອນການປ່ອຍປະລໍາມະນູ ALD ທີ່ທັນສະໄຫມ, ອຸປະກອນການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial, ອຸປະກອນເງິນຝາກ plasma ແລະລະບົບ lithography immersion, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບເຕັກໂນໂລຢີ, ຊອບແວທີ່ໃຊ້. ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ແລະ​ການ​ພັດ​ທະ​ນາ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ທີ່​ກ້າວ​ຫນ້າ​ທາງ​ດ້ານ​ດັ່ງ​ກ່າວ​.

ໃນຄໍາຖະແຫຼງຕໍ່ Tibco, ASML ໄດ້ເນັ້ນຫນັກວ່າກົດລະບຽບການຄວບຄຸມການສົ່ງອອກໃຫມ່ຂອງລັດຖະບານໂຮນລັງພຽງແຕ່ກວມເອົາບາງຮຸ່ນ DUV ຫລ້າສຸດ, ລວມທັງລະບົບ TWINSCAN NXT: 2000i ແລະລະບົບ lithography immersion ຕໍ່ມາ.EUV lithography ໄດ້ຖືກຈໍາກັດກ່ອນຫນ້ານີ້, ແລະການຂົນສົ່ງຂອງລະບົບອື່ນໆບໍ່ໄດ້ຖືກຄວບຄຸມໂດຍລັດຖະບານໂຮນລັງ.ອີງຕາມຂໍ້ມູນເວັບໄຊທ໌ທາງການຂອງ ASML, ລະບົບ DUV immersion lithography, ລວມທັງ: TWINSCAN NXT: 2050i, NXT: 2050i, NXT: 1980Di ສາມເຄື່ອງ lithography, ເຫຼົ່ານີ້ສາມາດປະຕິບັດການປຸງແຕ່ງ wafer 38nm ~ 45nm.

 

ນອກຈາກນັ້ນ, ເຄື່ອງ lithography DUV ແຫ້ງສາມາດປຸງແຕ່ງ wafer ຂ້າງເທິງ 45nm, ເຊັ່ນຂະບວນການ 65nm ~ 220nm, ເຊັ່ນ TWINSCAN XT: 400L, XT: 1460K, NXT: 870, ແລະອື່ນໆ, ບໍ່ໄດ້ລວມຢູ່ໃນບັນຊີລາຍຊື່ການລົງໂທດຂອງໂຮນລັງ.

微信图片_20230702200335

ບັນຊີລາຍຊື່ການຄວບຄຸມຂອງໂຮນລັງ, ດັ່ງທີ່ແປໂດຍ Tibco, ມີດັ່ງນີ້:

ກົດລະບຽບ MinBuza.2023.15246-27 ທີ່ອອກໂດຍລັດຖະມົນຕີວ່າການກະຊວງການຄ້າຕ່າງປະເທດແລະການຮ່ວມມືພັດທະນາຂອງເນເທີແລນສະຫນອງຂໍ້ກໍານົດການອອກໃບອະນຸຍາດສໍາລັບການສົ່ງອອກອຸປະກອນການຜະລິດຂັ້ນສູງສໍາລັບ semiconductors ບໍ່ໄດ້ລະບຸໄວ້ກ່ອນຫນ້ານີ້ໃນເອກະສານຄັດຕິດ I ຂອງລະບຽບການສະບັບເລກທີ 2021/821 (ກ່ຽວກັບ semiconductor ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ. ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​ຜະ​ລິດ​)

ມາດຕາ 2: ລະບຽບການນີ້ຫ້າມສົ່ງອອກອຸປະກອນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີຂັ້ນສູງຈາກເນເທີແລນໂດຍບໍ່ໄດ້ຮັບອະນຸຍາດຈາກລັດຖະມົນຕີ.

ມາດຕາ 3:

1. ການຍື່ນຂໍໃບອານຸຍາດທີ່ກ່າວໄວ້ໃນມາດຕາ 2 ຈະຕ້ອງເຮັດໂດຍຜູ້ສົ່ງອອກ ແລະ ສົ່ງໃຫ້ໄອຍະການ.

2. ໃນກໍລະນີໃດກໍ່ຕາມ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ້ອງມີ:

a) ຊື່ ແລະທີ່ຢູ່ຂອງຜູ້ສົ່ງອອກ;

b) ຊື່ແລະທີ່ຢູ່ຂອງຜູ້ຮັບແລະຜູ້ໃຊ້ສຸດທ້າຍຂອງອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ;

c) ຊື່ແລະທີ່ຢູ່ຂອງຜູ້ຮັບແລະຜູ້ໃຊ້ສຸດທ້າຍຂອງອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ.

3, ໃນກໍລະນີໃດກໍ່ຕາມ, ໄອຍະການມີສິດຮ້ອງຂໍໃຫ້ຜູ້ສົ່ງອອກເພື່ອສະຫນອງສັນຍາກ່ຽວກັບການສົ່ງອອກ, ແລະຖະແຫຼງການກ່ຽວກັບການສິ້ນສຸດການນໍາໃຊ້.

ມາດຕາ 4:

ໃບອະນຸຍາດອະທິບາຍໃນມາດຕາ 2, ອາດຈະຂຶ້ນກັບເງື່ອນໄຂແລະຂໍ້ກໍານົດ.

ການໃຫ້ໃບອະນຸຍາດທີ່ອະທິບາຍໄວ້ໃນມາດຕາ 2 ສາມາດມີຄຸນສົມບັດ.

ບົດຄວາມ V:

ໃບອະນຸຍາດທີ່ໄດ້ກ່າວໄວ້ໃນມາດຕາ II ອາດຈະຖືກຖອນຄືນໃນກໍລະນີຕໍ່ໄປນີ້:

a) ໃບອະນຸຍາດໄດ້ຖືກອອກໂດຍອີງໃສ່ຂໍ້ມູນທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຫຼືບໍ່ຄົບຖ້ວນ;

b) ຂໍ້ກໍານົດ, ເງື່ອນໄຂແລະຂໍ້ຈໍາກັດຂອງໃບອະນຸຍາດບໍ່ໄດ້ປະຕິບັດຕາມ;

c) ສໍາລັບເຫດຜົນຂອງນະໂຍບາຍຕ່າງປະເທດແລະຄວາມປອດໄພແຫ່ງຊາດ.

 


ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-02-2023